Вакуумная техника

SEO-TEC

Вакуумный напылительный пост SEO-TEC

SEO-TEC предназначен для подготовки объектов, исследуемых в электронных микроскопах, а также получения многослойных, многокомпонентных пленок из металлов и полупроводников магнетронным, резистивным, электронным методами распыления.

Прибор может использоваться для исследований в областях химии, физики, биологии, медицины, а также для отработки отдельных технологий по вакуумному напылению и травлению в плазме.

Техническая спецификация
1 Камера Прямоугольная до 0,125 м3
2 Остаточное давление, Па 13×10-3
3 Испарители Устройство испарения углей
Резистивный (40 Ам), магнетронный (0.9 кВ)
4 Температура нагрева объектов 1000 °C
5 Температура столика охлаждения -150 °C
6 Система управления От компьютера
7 Вакуумная система Ручной и автоматический режим откачки
8 Потребляемая мощность, кВ 2
9 Расход воды, л/мин 5
10 Габаритные размеры, мм 500 × 900 × 1500
11 Масса, кг 220
SEO-EBV TEC

Установка вакуумная SEO-EBV TEC

Установка предназначена для нанесения покрытия на оптические поверхности методом резистивного и электронно-лучевого испарения диэлектриков, полупроводников и металлов с одновременным контролем толщины покрытия.

Установка обеспечивает возможность нанесения многослойных ахроматических покрытий на оптических деталях, а также металлических, однослойных просветляющих, интерференционных зеркальных, фильтрующих и других для различных областей спектра.

Установка состоит из: рабочей камеры, откачного поста на базе ТМН, форвакуумного агрегата, электрооборудования для питания и управления вакуумной системой и технологическими системами.

Техническая спецификация
1 Давление в камере, мм.рт.ст. 5×10-6
2 Время достижения вакуума, мин, не более 20
3 Температура нагрева в камере, °С 100 - 320
4 Количество резистивных испарителей, шт. 2
5 Количество электронно-лучевых испарителей, шт. 1
6 Количество держателей подложек, шт. 4
7 Максимальный размер подложек, мм 50 × 50
8 Напряжение плазменной очистки, кВ 7
9 Ток резистивных испарителей, А, при 24 В 150
10 Ток электронно-лучевого испарителя, мА 500
11 Мощность, потребляемая установкой, кВт 20
12 Система управления От промышленного компьютера

Система автоматизированного контроля вакуума SEO-VAC Control

Система обеспечивает контроль и управление вакуумной системой любой сложности в ручном и автоматическом режиме.

Система позволяет измерять остаточное давление в различных рабочих и технологических зонах, а также обеспечивает аварийное отключение комплекса.

Алгоритм автоуправления программируется на помехозащищенном контроллере, который имеет связь по порту RS 232 с управляющим компьютером. Мнемосхема и текущее состояние вакуумной системы отражается на мониторе управляющего ПК.

Использование SEO-VAC Control позволяет:

  • автоматизировать процесс откачки
  • выключение вакуумной системы любой сложности
  • обеспечить контроль и сигнализацию аварийных режимов
  • обеспечить различные режимы работы вакуумной системы

Состав системы:

  • Микроконтроллер – 1 шт.
  • Измерительный блок – 1 шт.
  • Комплект соединительных кабелей и вакуумных датчиков – 1 к-т
  • Программное обеспечение – 1 к-т
  • Коммутирующий блок – 1 шт.
SEO-VAC

Измерители вакуума SEO-VAC

Измеритель вакуума SEO-VAC позволяет:

  • автоматизировать процесс работы вакуумного оборудования
  • отказаться от сложных неудобных графических градуировочных характеристик
  • автоматизировать процесс измерения давления и поддержания режимов работы преобразователей
  • хранить установки каналов блокировки при отключении напряжения питания
  • проводить самотестирование вакууметра

Технические характеристики измерителя вакуума:

  1. Прибор рассчитан на питание от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, напряжением 220 В.
  2. Потребляемая электрическая мощность не более 65 Вт.
  3. Условия эксплуатации прибора:
    • температура окружающей среды 20±5 °С;
    • относительная влажность до 80% при температуре 25 °С
  4. Диапазон измерения вакуума от 1×10-1 мм рт. ст. (торр) до 1×106 мм рт. ст. (торр)
  5. Единица измерения - торр
  6. Точность измерения - согласно калибровочной кривой на датчик

Комплектующие и материалы

ПКФ "Sumy Electron Optics" производит и поставляет:

  • Автоматизированные (от ПК) и ручные системы управления вакуумным оборудованием
  • Измерители вакуума
  • Вакуумные камеры и вакуумную арматуру к ним
  • Натекатели газа
  • Вакуумные клапана и заслонки
  • Высоковакуумные и форвакуумные насосы от любых производителей
  • Вакуумовводы и вакуумопроводы
  • Вакуумные уплотнители и смазки
  • Расходные материалы для процессов напыления