Вакуумная техника

Вакуумный напылительный пост SEO-TEC

SEO-TEC предназначен для подготовки объектов, исследуемых в электронных микроскопах, а также получения многослойных, многокомпонентных пленок из металлов и полупроводников магнетронным, резистивным, электронным методами распыления.

Прибор может использоваться для исследований в областях химии, физики, биологии, медицины, а также для отработки отдельных технологий по вакуумному напылению и травлению в плазме.

Техническая спецификация
1	Камера	Прямоугольная до 0,125 м³
2	Остаточное давление, Па	13×10^-3
3	Испарители	Устройство испарения углей Резистивный (40 Ам), магнетронный (0.9 кВ)
4	Температура нагрева объектов	1000 °C
5	Температура столика охлаждения	-150 °C
6	Система управления	От компьютера
7	Вакуумная система	Ручной и автоматический режим откачки
8	Потребляемая мощность, кВ	2
9	Расход воды, л/мин	5
10	Габаритные размеры, мм	500 × 900 × 1500
11	Масса, кг	220

Система автоматизированного контроля вакуума SEO-VAC Control

Система обеспечивает контроль и управление вакуумной системой любой сложности в ручном и автоматическом режиме.

Система позволяет измерять остаточное давление в различных рабочих и технологических зонах, а также обеспечивает аварийное отключение комплекса.

Алгоритм автоуправления программируется на помехозащищенном контроллере, который имеет связь по порту RS 232 с управляющим компьютером. Мнемосхема и текущее состояние вакуумной системы отражается на мониторе управляющего ПК.

Использование SEO-VAC Control позволяет:

автоматизировать процесс откачки
выключение вакуумной системы любой сложности
обеспечить контроль и сигнализацию аварийных режимов
обеспечить различные режимы работы вакуумной системы

Состав системы:

Микроконтроллер – 1 шт.
Измерительный блок – 1 шт.
Комплект соединительных кабелей и вакуумных датчиков – 1 к-т
Программное обеспечение – 1 к-т
Коммутирующий блок – 1 шт.

Измерители вакуума SEO-VAC

Измеритель вакуума SEO-VAC позволяет:

автоматизировать процесс работы вакуумного оборудования
отказаться от сложных неудобных графических градуировочных характеристик
автоматизировать процесс измерения давления и поддержания режимов работы преобразователей
хранить установки каналов блокировки при отключении напряжения питания
проводить самотестирование вакууметра

Технические характеристики измерителя вакуума:

Прибор рассчитан на питание от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, напряжением 220 В.
Потребляемая электрическая мощность не более 65 Вт.
Условия эксплуатации прибора:
- температура окружающей среды 20±5 °С;
- относительная влажность до 80% при температуре 25 °С
Диапазон измерения вакуума от 1×10^-1 мм рт. ст. (торр) до 1×10⁶ мм рт. ст. (торр)
Единица измерения - торр
Точность измерения - согласно калибровочной кривой на датчик

Комплектующие и материалы

ПКФ "Sumy Electron Optics" производит и поставляет:

Автоматизированные (от ПК) и ручные системы управления вакуумным оборудованием
Измерители вакуума
Вакуумные камеры и вакуумную арматуру к ним
Натекатели газа
Вакуумные клапана и заслонки
Высоковакуумные и форвакуумные насосы от любых производителей
Вакуумовводы и вакуумопроводы
Вакуумные уплотнители и смазки
Расходные материалы для процессов напыления