Электронно-лучевое и Ионно-плазменное напыление

SPUTTERING

Оборудование и технологии для электронно-лучевой и ионно-плазменной обработки материалов

Производственно-коммерческая фирма "Sumy Electron Optics" (SEO) работает в области создания научно-исследовательского оборудования и вакуумной техники для различных областей науки и техники.

Используя современную комплектацию, новые технологии и собственные программные продукты фирма SEO осуществляет следующие виды деятельности:

  • Проектирование и изготовление вакуумных электронно-лучевых установок для сварки и плавки по ТЗ заказчика.
  • Проектирование и изготовление вакуумных установок ионно-плазменного нанесения покрытий различными методами: электронно-лучевым (EB-PVD), электро-дуговым (Arc-PVD), магнетронным распылением (MS), ионно-лучевым (IBAD по ТЗ заказчика.
  • Проектирование и изготовление вакуумных установок для ионно-плазменного азотирования деталей машин. Модернизация промышленных установок НШВ-28.7/6-И1, НШВ-9.18/6-И2 и др.
  • Проектирование и изготовление вакуумных установок для нанесения оптических покрытий (просветляющих, интерференционных и др.).
  • Модернизация вакуумного ионно-плазменного оборудования (установки электродугового и магнетронного напыления) – Булат-6, Булат-3, ННВ-6.6, МАП-1, ВУ-2М, ВУ-2МБС и др.
  • Изготовление узлов к вакуумным установкам ионно-плазменного нанесения (катодные узлы, магнетроны, ионные источники, натекатели газов и проч.)

Вакуумные установки ионно-плазменного нанесения покрытий обеспечивают нанесение функциональных износо-, жаро-, эрозионно-, кавитационно- и коррозионно-стойких покрытий на детали машин, нанесение наноструктурных износостойких покрытий на инструмент: резцы, сверла, том числе и мелкоразмерные (∅ до 1 мм), пуансоны, штампы, плунжера и т.п.

SPUTTERING

Производимое вакуумное оборудование проектируется и изготовляется в полном соответствии с современными требованиями, предъявляемыми к промышленным вакуумным установкам. Это современная элементная база и наиболее полная реализация технологических возможностей оборудования за счет автоматизации техпроцесса.

Способность подстроиться под требования заказчика – важное достоинство нашей компании. Мы готовы предложить решения, точно соответствующие спецификациям заказчика, включая уникальные инженерные разработки.

В наше оборудование могут быть интегрированы практически любые решения для формирования тонких пленок и покрытий, при этом мы можем использовать лучшие комплектующие от лидеров рынка, будь то устройства автоматизации или вакуумные компоненты. Выбор комплектации – за заказчиком.

Все вакуумные установки снабжены автоматизированной системой управления технологическим процессом (АСУТП), которая прошла многолетнюю промышленную отработку в условиях различных серийных производств. Это позволяет решать типовые задачи АСУТП - проведение техпроцесса по заданной программе, диагностика оборудования, отработка аварийных ситуаций, создание и архивация рабочих протоколов, а также, работать и в «ручном режиме».

Применение этой системы обеспечивает стабильность и повторяемость свойств и характеристик напыляемых покрытий и азотированных изделий от партии к партии отвечающие современному мировому уровню.

Особенно следует отметить, что мы сами разрабатываем программное обеспечение для своих установок. Если большинство конкурентов заказывают ПО на стороне, что замедляет его отладку и доработку и повышает стоимость, то мы всегда комплектуем оборудование оптимальными по надежности и функциональности программными средствами.

В случае модернизации оборудования, мы выполняем не просто восстановление, а глубокую модернизацию установок напыления. Устаревшие и выработавшие ресурс компоненты заменяются, включая электронику, электротехническое оборудование, отдельные технологические модули. От старой установки остается, фактически, только станина.

Оборудование комплектуется современным программным обеспечением, и по своим возможностям почти не уступает новым моделям того же класса, при этом экономия для заказчика очень существенна: стоимость восстановленного оборудования может быть в 2 - 3 раза ниже, чем нового с сопоставимыми характеристиками. На восстановленные установки предоставляется гарантия.

Поставка оборудования может включать услуги по обучению персонала Заказчика и технологическому сопровождению оборудования.

Ниже в приложении приведена информация, иллюстрирующая некоторые разработки установок ионно-плазменного и электронно-лучевого напыления.

SEO-EB TEC

Установка вакуумная SEO-EB TEC

Установка предназначена для нанесения покрытия на оптические поверхности методом резистивного и электронно-лучевого испарения диэлектриков, полупроводников и металлов с одновременным контролем толщины покрытия.

Установка обеспечивает возможность нанесения многослойных ахроматических покрытий на оптических деталях, а также металлических, однослойных просветляющих, интерференционных зеркальных, фильтрующих и других для различных областей спектра.

Установка состоит из: рабочей камеры, откачного поста на базе ТМН, форвакуумного агрегата, электрооборудования для питания и управления вакуумной системой и технологическими системами.

Техническая спецификация
1 Давление в камере, мм.рт.ст. 5×10-6
2 Время достижения вакуума, мин, не более 20
3 Температура нагрева в камере, °С 100 - 320
4 Количество резистивных испарителей, шт. 2
5 Количество электронно-лучевых испарителей, шт. 1
6 Количество держателей подложек, шт. 4
7 Максимальный размер подложек, мм 50 × 50
8 Напряжение плазменной очистки, кВ 7
9 Ток резистивных испарителей, А, при 24 В 150
10 Ток электронно-лучевого испарителя, мА 500
11 Мощность, потребляемая установкой, кВт 20
12 Система управления От промышленного компьютера
SEO-TEC-MS

Вакуумная установка серии SEO-ТЕС MS

Вакуумная установка для нанесения многофункциональных нанокомпозитных покрытий из сплавов Zr, Ti, Cr методом реактивного осаждения при магнетронном распілениее в режиме DC/PULSE

Установка SEO-ТЕС MS предназначена для нанесения защитных и функциональных покрытий толщиной 10-25 мкм из мнокомпонентных материалов, включая специальные сплавы или нанокристаллические композиты, а также металлические , оксидные, нитридные, карбидные и др. типы покрытий на изделия различного назначения , изготовленные из сталей и титановых сплавов, в частности лопатки ГТД

Программное обеспечение с функциями:

  • автоматический режим откачки;
  • ручной режим откачки;
  • отображение мнемосхемы режимов работы и всех параметров системы управления установки на экране монитора;
  • программирование режимов напыления и их воспроизведение;
  • блокировка работы установки при возникновении аварийных ситуаций и некорректной работе систем установки.
Техническая спецификация
1 Питающая сеть: 380V / 50Hz (60Hz)
2 Потребляемая установкой мощность, kVA, не более 60
3 Охлаждение водяное замкнутое, стационарное
4 Масса установки, kg, не более 2000
5 Габаритные размеры:
(длина, ширина, высота), mm, не боолее

2800 × 3500 × 2100
6 Время достижения рабочего вакуума, min, не более 20
7 Система распыления магнетронная
7.1 Тип магнетронов:
с горячей мишенью;
несбалансированный;
сбалансированный;
8 Ионный источник: многоячейковый
- рабочий газ
- длина очистки деталей, mm
- установка источника
аргон
200
внешняя
9 Система электропитания
9.1 Система электропитания магнетронов:
- максимальная потребляемая мощность 1 канала, kW
- входное напряжение, V
- выходной ток, A
- режим работы
- частота, kHz
13,6
65 - 650
0,1 - 18,5
DC, PULSE
1 - 100
9.2 Блок питания ионного источника:
- питающая сеть:
- максимальная выходная мощность, kW
- максимальный выходной ток, A
трехфазная
2
1,0
10 Система напуска газа 3 независимых канала (H2; C2H2; Ar)
11 Карусельное устройство: планетарного типа
- скорость вращения карусели вокруг своей оси, 1/min
- скорость вращения сателлитов вокркуг своей оси, 1/min
- количество механизмов крепления деталей, шт.
0 - 10
0 - 10
16
12 Блок питания потенциала смещения:
- выходная мощность, kW
- выходное напряжение, V
- режим работы
0,1 - 6,0
10 - 300
DC, PULSE
13 Нагреватель резистивный
- температура нагрева изделия, до °C 500
14 Управляемые защитные экраны для магнетронных распылителей
15 Управляющий компьютер моноблок с сенсорным 17″ монитором
- операционная система Windows 7/32
16 Программное обеспечение SEO ТЕСН Control
(Св-во регистрации авторского права № 27337)
SEO-EBPVD

Установка серии SEO-EBPVD TEC для нанесения керамических покрытий

Электронно-лучевая установка SEO-EBPVD ТЕС предназначена для нанесения керамических слоев теплозащитных покрытий (ТЗП) для защиты от высокотемпературной газовой коррозии лопаток ротора турбин П"Д из стабилизированного диоксида циркония.

Такие покрытия позволяют увеличить ресурс лопаток в 3-5 раз. Область применения установки: лаборатории и производственные участки ионно-плазменных и газотермических покрытий.

В состав установки входят:

  1. Водоохлаждаемая камера в составе:
    • модуль загрузки с механизмом перемещения образцов
    • модуль нагрева с нагревателем резистивного типа {возможен нагрев пушкой) и системой контроля температуры
    • модуль напыления с механизмом вращения образцов, тиглем и механизмом подачи испаряемого штабика
  2. Вакуумная система на базе диффузионного паромасляного насоса
  3. Электронно-лучевая пушка
  4. Стробоскопическое смотровое окно
  5. Шкаф управления с высоковольтным источником питания пушки
  6. Система охлаждения камеры, тигля и пушки
  7. Пневмосистема для обеспечения работы привода подачи образцов и элементов вакуумной системы
  8. Система подачи газов
SEO-EBPVD

Программа управления обеспечивает:

  • автоматический и ручной режим управления вакуумной системой;
  • отображение мнемосхемы вакуумной системы на экране монитора;
  • программирование и воспроизведение режимов напыления;
  • контроль безаварийной работы установки
Техническая спецификация
1 Питающая сеть 380 V, 50/60 Hz , трёхфазная
2 Потребляемая мощность, kV A, не более 35
3 Охлажнеие установки стационарная станция охлаждения
4 Масса установки, kg, не более 11000
5 Габаритные размеры установки (длина, ширина, высота), mm 4000 × 2000 × 2000
6 Вакуумная система двухступенчатая на базе диффузионного паромасляного насоса
7 Рабочее давление в модуле напыления, Тоrг mmH, не более: 1×103 - 1×104
8 Температура предварительного нагрева изделий, °С 950±50
9 Система напуска газа 2 канала (O2, Аг)
10 Тигель для испарения водоохлаждаемый под штабик 40мм
11 11. Перемещение штабика в тигле по вертикальной оси, mm от 150
12 Визуализация и наблюдение за процессом испарения стробоскопическое, смотровое окно
13 Электронно-лучевая пушка газоразрядная с холодным катодом
- мощность электронного луча, kW
- ускоряющее напряжение, kV
- частота развертки электронного луча, Hz, не более
- форма развертки
от 20
от 20
100
спиралевидная концетрическая
14 Система управления установки компьютерная
15 Программное обеспечение SEO ТЕСН Control
(Св-во регистрации авторского права № 27337)
SEO-EBPVD

Вакуумная установка серии SEO-ТЕС ArcPVD/MS ионно-плазменного напыления

Вакуумная установка серии SEO-TEC ArcPVD/MS предназначена для нанесения защитных и функциональных покрытий толщиной 0.5-50 мкм из многокомпонентных материалов , включая специальные сплавы или нанокристаллические композиты, а также металлические, оксидные, нитридные, карбидные, карбонитридные, оксикарбидные и др. типы покрытий с использованием дуальных магнетронных и дуговых испарителей.

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ УСТАНОВКИ: лаборатории вакуумного напыления исследовательских и производственных предприятий.

В состав установки входят:

  1. Технологическая стойка:
    • стойка питания;
    • распределительная система подачи воды;
    • вакуумная камера;
    • блок ионной очистки;
    • дуальные магнетроны;
    • дуальные дуговые испарители;
    • нагреватель;
    • карусель;
    • затвор дисковый;
    • турбомолекулярный насос;
    • пневматические клапана форлинии;
    • вакуумные датчики;
    • система напуска газов.
  2. Стойка системы управления
  3. Вакуумный откачной пост
  4. Пневмосистема
SEO-ARCPVD

Программа управления обеспечивает:

  • автоматический и ручной режим управления вакуумной системой;
  • отображение мнемосхемы вакуумной системы на экране монитора;
  • отображение показании датчиков на экране монитора;
  • отобтражение органов управления на экране монитора;
  • независимое управление токами испарителеи;
  • независимое управление Откр/Закр экранами испарителей;
  • независимое управление температурой нагревателя;
  • независимое изменение температуры (нагревателя)
  • программирование и воспроизведения режимов напыления;
  • блокирвку работы установки при аварийных ситуациях.
Техническая спецификация
1 Питающая сеть: 380V/50Hz трехфазная
2 Потребляемая установкой мощность, kVA, не более 25
3 Масса установки, kg, не более 648
4 Габаритные размеры:
(длина, ширина, высота), mm, не боолее

2000 × 2000 × 1800
5 Время достижения рабочего вакуума, min, не более
20
6 Системы распыления:
6.1 Магнетронная:
  • количество магнетронов
  • тип магнетрона
  • режим работы магнетронов
  • диаметр/толщина катода, mm

2 дуальных
сбалансированный/несбалансированный
DC/PULSE
95/8,5
6.2 Вакуумно-дуговая:
  • количество распылителей

2 дуальных
7 Ионный источник: многоячейковый (22 ионных пучка)
  • рабочая зона, mm
400
8 Системы электропитания:
8.1 Система электропитания магнетронов:
  • выходная мощность 1 канала, max, kW
  • выходное напряжение, V
  • выходной ток, A
  • режим работы
  • частота, kHz
  • амплитуда поджога, V

10
70 - 700
0,1 - 16
DC, PULSE
1 - 100
1000
8.2 Система электропитания дуговых испарителей:
  • выходной ток 1 канала, А
  • выходное напряжение, V
  • напряжение холосттого хода, V
  • регулировка
4 инверторных блока
90 - 150
90
100
по току
8.3 Блоки питания ионного источника:
  • максимальная выходная мощность, kW<
  • выходное напряжение, V
  • максимальный выходной ток, A

2
400 - 5000
1,5
9 Ситсема напуска газов 3 канала
  • подача газа в каналах
  • контролируеммый уровень натекания, Torr*l/s
  • максимальный пропускной поток, l/min
независимая
10
6
10 Карусельное устройство: планетарного типа
  • диаметр карусели, mm
  • скорость вращения вокруг центральной оси карусели, 1/min
  • количество механизмов крепления деталей, шт.
180
1 - 10
6
11 Блок питания потенциала смещения:
  • диапазон регулировки напряжения, V
  • максимальный ток, A
10 - 1000
7
12 Нагреватель: резистивный
  • максимальная температура нагрева, °C
560
13 Управляемые защитные экраны для:
магнетронных распылителей
дуговых распылителей
ионного источника
14 Управляющий компьютер: Моноблок Advantech с 17″ монитором
15 Программное обеспечение SEO ТЕСН Control
(Св-во регистрации авторского права № 27337)