Ионноплазменное, электронно-лучевое и термическое напыление

SPUTTERING

Оборудование и технологии для электронно-лучевой и ионно-плазменной обработки материалов

Производственно-коммерческая фирма "Sumy Electron Optics" (SEO) работает в области создания научно-исследовательского оборудования и вакуумной техники для различных областей науки и техники.

Используя современную комплектацию, новые технологии и собственные программные продукты фирма SEO осуществляет следующие виды деятельности:

  • Проектирование и изготовление вакуумных электронно-лучевых установок для сварки и плавки по ТЗ заказчика.
  • Проектирование и изготовление вакуумных установок ионно-плазменного нанесения покрытий различными методами: электронно-лучевым (EB-PVD), электро-дуговым (Arc-PVD), магнетронным распылением (MS), ионно-лучевым (IBAD по ТЗ заказчика.
  • Проектирование и изготовление вакуумных установок для ионно-плазменного азотирования деталей машин. Модернизация промышленных установок НШВ-28.7/6-И1, НШВ-9.18/6-И2 и др.
  • Проектирование и изготовление вакуумных установок для нанесения оптических покрытий (просветляющих, интерференционных и др.).
  • Модернизация вакуумного ионно-плазменного оборудования (установки электродугового и магнетронного напыления) – Булат-6, Булат-3, ННВ-6.6, МАП-1, ВУ-2М, ВУ-2МБС и др.
  • Изготовление узлов к вакуумным установкам ионно-плазменного нанесения (катодные узлы, магнетроны, ионные источники, натекатели газов и проч.)

Вакуумные установки ионно-плазменного нанесения покрытий обеспечивают нанесение функциональных износо-, жаро-, эрозионно-, кавитационно- и коррозионно-стойких покрытий на детали машин, нанесение наноструктурных износостойких покрытий на инструмент: резцы, сверла, том числе и мелкоразмерные (∅ до 1 мм), пуансоны, штампы, плунжера и т.п.

SPUTTERING

Производимое вакуумное оборудование проектируется и изготовляется в полном соответствии с современными требованиями, предъявляемыми к промышленным вакуумным установкам. Это современная элементная база и наиболее полная реализация технологических возможностей оборудования за счет автоматизации техпроцесса.

Способность подстроиться под требования заказчика – важное достоинство нашей компании. Мы готовы предложить решения, точно соответствующие спецификациям заказчика, включая уникальные инженерные разработки.

В наше оборудование могут быть интегрированы практически любые решения для формирования тонких пленок и покрытий, при этом мы можем использовать лучшие комплектующие от лидеров рынка, будь то устройства автоматизации или вакуумные компоненты. Выбор комплектации – за заказчиком.

Все вакуумные установки снабжены автоматизированной системой управления технологическим процессом (АСУТП), которая прошла многолетнюю промышленную отработку в условиях различных серийных производств. Это позволяет решать типовые задачи АСУТП - проведение техпроцесса по заданной программе, диагностика оборудования, отработка аварийных ситуаций, создание и архивация рабочих протоколов, а также, работать и в «ручном режиме».

Применение этой системы обеспечивает стабильность и повторяемость свойств и характеристик напыляемых покрытий и азотированных изделий от партии к партии отвечающие современному мировому уровню.

Особенно следует отметить, что мы сами разрабатываем программное обеспечение для своих установок. Если большинство конкурентов заказывают ПО на стороне, что замедляет его отладку и доработку и повышает стоимость, то мы всегда комплектуем оборудование оптимальными по надежности и функциональности программными средствами.

В случае модернизации оборудования, мы выполняем не просто восстановление, а глубокую модернизацию установок напыления. Устаревшие и выработавшие ресурс компоненты заменяются, включая электронику, электротехническое оборудование, отдельные технологические модули. От старой установки остается, фактически, только станина.

Оборудование комплектуется современным программным обеспечением, и по своим возможностям почти не уступает новым моделям того же класса, при этом экономия для заказчика очень существенна: стоимость восстановленного оборудования может быть в 2 - 3 раза ниже, чем нового с сопоставимыми характеристиками. На восстановленные установки предоставляется гарантия.

Поставка оборудования может включать услуги по обучению персонала Заказчика и технологическому сопровождению оборудования.

Ниже в приложении приведена информация, иллюстрирующая некоторые разработки установок ионно-плазменного и электронно-лучевого напыления.

SEO-TEC LАВ

Вакуумная установка SEO-TEC LАВ


Назначение установки

Установка предназначена для проведения напылительных процессов в вакууме путем термических испарений металлов и их оксидов.

Установка используется в научно­исследовательских лабораториях и производственных участках с мелкосерийным производством.

Технические характеристики
1 Рабочий объем камеры не более 0.1 м3
2 Рабочее давление в камере не хуже 5×10-6 Torr
3 Откачная система на базе ТМН 300 л/сек
4 Размер напыляемых подложек 50×50×3 мм
5 Размер масок 50×50×3 мм
6 Питание от сети 380 В/50 Гц
7 Потребляемая мощность не более 6 кВт
8 Потребление охлаждающей воды 50 л/час
9 Габаритные размеры, (длинна/ширина/высота) 540×910×1600 мм
10 Масса прибора 350 кг
11 Испарители:
тип
количество
максимальная температура
термические, вольфрамовые (лодочка, козинка, спираль)
4
1500 °С
12 Нагреватель:
температура нагрева подложки
неравномерность температуры по поверхности образца
точность поддержания заданной температуры на подложке
200 - 500 °С
не более ± 10% при 500 °С
не хуже ± 10%
13 Устройство подачи испаряемого вещества:
диапазон размера зёрен распыляемого вещества
размер ёмкости для засыпки вещества
тип привода
скорость подачи вещества
100-300 мкм
не менее 30 мл
электромеханический с вибрацией
100 мм3/мин
14 Контроль толщины напыления кварцевый толщинометр
15 Система управления от персонального компъютера (ноутбук)
SPUTTERING

Система управления обеспечивает:

  • ВКЛ\ВЫКЛ питания установки, а так же контроль и управление всеми системами и устройствами;
  • Возможность откачки вакуумной камеры и напуска воздуха в ручном и автоматическом режиме;
  • Контроль и индикацию на мониторе процесса откачки и вакуума в контрольных точках;
  • Управления током испарителей;
  • Откр.\Закр. заслонки испарителя;
  • Управление скоростью подачи в лодочку испаряемого вещества;
  • Управление приводом перемещения подложки и ее позиционирования над выбранным испарителем;
  • Управление температурой нагревателей подложки .
  • Контроль и индикацию температуры подложки;
  • Программирования технологических режимов их запоминание и воспроизведение;
  • Ведение протокола технологических процессов и их запоминания с возможностью дальнейшего просмотра.

В состав установки SEO-TEC входит:

  1. Вакуумная камера

    Предназначенна для проведения технологического процесса в вакууме в составе:
    • поддон с системой охлаждения, термоиспарителями, устройствами подачи вещества для испарения, токовводами и откачным фланцем;
    • средняя часть со смотровым окном Ø60 мм, маскодержателем, подложкодержателем, нагревателем подложки;
    • верхний фланец с механизмом перемещения подложки, измерителем температуры подложки разъема для ввода/вывода электросигналов.
  2. Вакуумная система

    На базе турбомолекулярного насосо и сухого форвакуумного насоса типа SCROL, что обеспечивает безмаслянную откачку рабочего объема.
  3. Подложкодержатель

    Представляет собой сменный носитель, позволяющий размещение пластины с габаритами 50×50×3 мм и быстрой ее замене. Имеет устройство вращения подложки с механизмом подвода подложки под испаритель (один из 4)
  4. Система нагрева подложек с нагревательным элементом

    Нагревательный элемент должен обеспечивать прогрев образцов до температуры не менее 500°С и возможность контроля температуры нагревательного элемента во время процесса напыления.
  5. Блок термоиспарителей

    Содержит четыре термических испарителя и маскодержатель. Каждый испаритель содержит заслонку прямого испарения с электромехани­ческим приводом и охлаждаемый экран для предотвращения боковых испарений.
  6. Устройство крепления масок (маскодержатели)

    Позволяет размещение 4 пластин (масок) с габаритами 50×50×3 мм. Маски используются для формирования форм напыляемой структуры на подложке в едином технологическом цикле.
  7. Устройство виброподачи распыляемого вещества (гранулы)

    Содержит емкость для засыпки вещества и электромеханический вибрирующий привод для подачи вещества с регулируемой скоростью к лодочке термоиспарителя.
  8. Блок гермовводов

    Состоит из герметического вакуумного фланца, на котором установлены электрические вакуумные вводы (герморазъёмы) электросигналов в камеру.
  9. Система управления

    Включает в себя в себя:
    • ПК (ноутбук)
    • Блок питания и управления
    • Программное обеспечение SEO ТЕСН Control (Свидетельство о регистрации авторского права NO 27337) с ведением протокола технологических процессов и их запоминания с возможностью дальнейшего просмотра
SEO-TEC-INit

Оборудование SEO-TEC-INit для ионного азотирования

SEO-TEC-INit - это оборудование для химико-термической обработки с целью значительного улучшения качества деталей машин, инструмента, штамповой и литьевой оснастки, путём придания ей большей прочности, износостойкости и долговечности.

Ионное азотирование (ИА) может использоваться на производстве взамен газового азотирования, жидкостного азотирования в соляных ваннах, в некоторых случаях вместо цементации, а также ТВЧ-закалки. Основные преимущества ИА:

  • сокращение продолжительности обработки в 2-5 раз, как за счет снижения времени нагрева и охлаждения садки, так и за счет уменьшения времени изотермической выдержки;
  • сокращению трудоёмкости изготовления изделий из-за существенного уменьшения (или полного исключения) объёма шлифовальных работ;
  • сокращение расхода электроэнергии в 1,5-3 раза.

Основными потребителями оборудования и технологии ионного азотирования являются автомобильные, тракторные, судостроительные и судоремонтные, машино- и станкостроительные заводы по производству сельскохозяйственной техники, насосного и компрессорного оборудования, шестерен, подшипников, алюминиевых профилей, энергетических установок и др.

Основные характеристики типовых установок:
1 Размеры рабочего пространства, мм
диаметр
высота
от 600 до 1100
от 800 до 1700
2 Загрузка, кг от 300 до 2000
3 Рабочие газы N2, H2, Ar (СН4, пропан-бутан) и их смеси
4 Режим работы автоматический (полуавтоматический)
5 Площадь, занимаемая установкой 40 м2 -100 м2
6 Максимальный ток разряда до 150 А
7 Максимальное напряжение до 700 В
8 Давление в рабочей камере 10- 1000 Па
9 Потребляемая от сети мощность от 30 до 120 кВА
10 Технологическая программа обеспечивает процесс откачки, очистки, нагрева и режима
SEO-TEC-INit

Режим азотирования продолжается 0.1 - 20 часов в зависимости от конструкторско-технологических требований и эксплуатационных свойств упрочняемых изделий.

По окончанию изотермического насыщения, детали остывают в разряженной атмосфере рабочего или инертного газа. В случае необходимости, можно проводить медленное охлаждение в плазме с уменьшенной мощностью. При достижении температуры 150 °C, камера открывается и детали охлаждаются.

Технологический процесс полностью автоматизирован. Регулирование всех основных параметров процесса осуществляется главным контроллером. В случае аварии, например короткое замыкание в камере, повышенная температура стенки камеры или израсходование рабочего газа и т.д., контроллер остановит процесс и включит световой и звуковой сигнал.

Основные преимущества ионного азотирования

Преимущества ионного азотирования по сравнению с традиционным газовым азотированием:

  • Процесс экологически чистый, безотходный и соответствует всем санитарно-гигиеническим требованиями;
  • Резкое снижение себестоимости за счёт сокращения электроэнергии в 2-4 раза, рабочих газов в 50-100 раз, времени обработки в 3-10 раз;
  • Регулируемое строение и оптимизация свойств азотированных покрытий, имеющих более высокую твёрдость, износостойкость и антикоррозионность;
  • Расширенный диапазон температур насыщения ( 450-600°С );
  • Лучшее качество слоя за счёт снижения хрупкости, равномерного развития и отсутствия микродефектов;
  • Минимальное изменение размеров и сохранение исходной чистоты поверхности, что исключает дополнительную мехобработку азотированных деталей;
  • Исключается необходимость предварительной депассивации деталей из нержавеющих сталей;
  • Простые и дешевые способы предохранения деталей при местном азотировании;
  • Высокая воспроизводимость и стабильность процесса и его полная автоматизация управления и контроля;
  • Возможность получения только диффузионного упрочненного слоя, без нитридной зоны для режущего и штампового инструмента и деталей, работающих при знакопеременных нагрузках в условиях изнашивания при высоких давлениях;
  • В зависимости от целей обработки, возможно получение слоя с монофазным нитридом Fe4N (γ’-фаза) или слоя с монофазным нитридом Fe2-3N (ε-фаза), обеспечивающих высокую сопротивляемость коррозии и прирабатываемость трущихся поверхностей для деталей, работающих на износ.

ПКФ "SUMY ELECTRON OPTICS" осуществляет проектирование, изготовление и поставку установок ионного азотирования (ИА) для упрочнения стальных, чугунных и титановых деталей методом импульсного ионного азотирования.

Для реализации процесса упрочняющей обработки деталей путем ИА нами разработан ряд моделей установок ИА, удовлетворяющих разнообразным запросам наших клиентов и обеспечивающих полную автоматизацию процесса формирования азотированного слоя путём программного управления параметрами процесса.

Основу установки ИА составляют рабочая камера, газо-вакуумный блок, стойка управления и питания.

Характеристики некоторых легированных сталей после азотирования
Марка стали Твердость сердцевины HRC Температура процесса °С Характеристики азотированного слоя
Глубина, мм Поверхностная твердость, HV Толщина нитридного слоя, мкм
Стали для горячей обработки
4Х5МФС35-55500-5600,1-0,3900-11002-6
5ХНМ35-55450-5500,1-0,3620-7602-6
3Х3М3Ф35-51500-5600,1-0,3900-11002-6
Стали для холодной обработки
Х1250-55450-5200,1-0,21000-1100-
Х12М53-60400-5300,1-0,21000-1100-
Х12МФ56-58400-4800,1-0,21000-1300-
SEO-EB TEC

Установка вакуумная SEO-EB TEC

Установка предназначена для нанесения покрытия на оптические поверхности методом резистивного и электронно-лучевого испарения диэлектриков, полупроводников и металлов с одновременным контролем толщины покрытия.

Установка обеспечивает возможность нанесения многослойных ахроматических покрытий на оптических деталях, а также металлических, однослойных просветляющих, интерференционных зеркальных, фильтрующих и других для различных областей спектра.

Установка состоит из: рабочей камеры, откачного поста на базе ТМН, форвакуумного агрегата, электрооборудования для питания и управления вакуумной системой и технологическими системами.

Техническая спецификация
1 Давление в камере, мм.рт.ст. 5×10-6
2 Время достижения вакуума, мин, не более 20
3 Температура нагрева в камере, °С 100 - 320
4 Количество резистивных испарителей, шт. 2
5 Количество электронно-лучевых испарителей, шт. 1
6 Количество держателей подложек, шт. 4
7 Максимальный размер подложек, мм 50 × 50
8 Напряжение плазменной очистки, кВ 7
9 Ток резистивных испарителей, А, при 24 В 150
10 Ток электронно-лучевого испарителя, мА 500
11 Мощность, потребляемая установкой, кВт 20
12 Система управления От промышленного компьютера
SEO-TEC-MS

Вакуумная установка серии SEO-ТЕС MS

Вакуумная установка для нанесения многофункциональных нанокомпозитных покрытий из сплавов Zr, Ti, Cr методом реактивного осаждения при магнетронном распілениее в режиме DC/PULSE

Установка SEO-ТЕС MS предназначена для нанесения защитных и функциональных покрытий толщиной 10-25 мкм из мнокомпонентных материалов, включая специальные сплавы или нанокристаллические композиты, а также металлические , оксидные, нитридные, карбидные и др. типы покрытий на изделия различного назначения , изготовленные из сталей и титановых сплавов, в частности лопатки ГТД

Программное обеспечение с функциями:

  • автоматический режим откачки;
  • ручной режим откачки;
  • отображение мнемосхемы режимов работы и всех параметров системы управления установки на экране монитора;
  • программирование режимов напыления и их воспроизведение;
  • блокировка работы установки при возникновении аварийных ситуаций и некорректной работе систем установки.
Техническая спецификация
1 Питающая сеть: 380V / 50Hz (60Hz)
2 Потребляемая установкой мощность, kVA, не более 60
3 Охлаждение водяное замкнутое, стационарное
4 Масса установки, kg, не более 2000
5 Габаритные размеры:
(длина, ширина, высота), mm, не боолее

2800 × 3500 × 2100
6 Время достижения рабочего вакуума, min, не более 20
7 Система распыления магнетронная
7.1 Тип магнетронов:
с горячей мишенью;
несбалансированный;
сбалансированный;
8 Ионный источник: многоячейковый
- рабочий газ
- длина очистки деталей, mm
- установка источника
аргон
200
внешняя
9 Система электропитания
9.1 Система электропитания магнетронов:
- максимальная потребляемая мощность 1 канала, kW
- входное напряжение, V
- выходной ток, A
- режим работы
- частота, kHz
13,6
65 - 650
0,1 - 18,5
DC, PULSE
1 - 100
9.2 Блок питания ионного источника:
- питающая сеть:
- максимальная выходная мощность, kW
- максимальный выходной ток, A
трехфазная
2
1,0
10 Система напуска газа 3 независимых канала (H2; C2H2; Ar)
11 Карусельное устройство: планетарного типа
- скорость вращения карусели вокруг своей оси, 1/min
- скорость вращения сателлитов вокркуг своей оси, 1/min
- количество механизмов крепления деталей, шт.
0 - 10
0 - 10
16
12 Блок питания потенциала смещения:
- выходная мощность, kW
- выходное напряжение, V
- режим работы
0,1 - 6,0
10 - 300
DC, PULSE
13 Нагреватель резистивный
- температура нагрева изделия, до °C 500
14 Управляемые защитные экраны для магнетронных распылителей
15 Управляющий компьютер моноблок с сенсорным 17″ монитором
- операционная система Windows 7/32
16 Программное обеспечение SEO ТЕСН Control
(Св-во регистрации авторского права № 27337)
SEO-EBPVD

Установка серии SEO-EBPVD TEC для нанесения керамических покрытий

Электронно-лучевая установка SEO-EBPVD ТЕС предназначена для нанесения керамических слоев теплозащитных покрытий (ТЗП) для защиты от высокотемпературной газовой коррозии лопаток ротора турбин ГПД из стабилизированного диоксида циркония.

Такие покрытия позволяют увеличить ресурс лопаток в 3-5 раз. Область применения установки: лаборатории и производственные участки ионно-плазменных и газотермических покрытий.

В состав установки входят:

  1. Водоохлаждаемая камера в составе:
    • модуль загрузки с механизмом перемещения образцов
    • модуль нагрева с нагревателем резистивного типа {возможен нагрев пушкой) и системой контроля температуры
    • модуль напыления с механизмом вращения образцов, тиглем и механизмом подачи испаряемого штабика
  2. Вакуумная система на базе диффузионного паромасляного насоса
  3. Электронно-лучевая пушка
  4. Стробоскопическое смотровое окно
  5. Шкаф управления с высоковольтным источником питания пушки
  6. Система охлаждения камеры, тигля и пушки
  7. Пневмосистема для обеспечения работы привода подачи образцов и элементов вакуумной системы
  8. Система подачи газов
SEO-EBPVD

Программа управления обеспечивает:

  • автоматический и ручной режим управления вакуумной системой;
  • отображение мнемосхемы вакуумной системы на экране монитора;
  • программирование и воспроизведение режимов напыления;
  • контроль безаварийной работы установки
Техническая спецификация
1 Питающая сеть 380 V, 50/60 Hz , трёхфазная
2 Потребляемая мощность, kV A, не более 35
3 Охлажнеие установки стационарная станция охлаждения
4 Масса установки, kg, не более 11000
5 Габаритные размеры установки (длина, ширина, высота), mm 4000 × 2000 × 2000
6 Вакуумная система двухступенчатая на базе диффузионного паромасляного насоса
7 Рабочее давление в модуле напыления, Тоrг mmH, не более: 1×103 - 1×104
8 Температура предварительного нагрева изделий, °С 950±50
9 Система напуска газа 2 канала (O2, Аг)
10 Тигель для испарения водоохлаждаемый под штабик 40мм
11 11. Перемещение штабика в тигле по вертикальной оси, mm от 150
12 Визуализация и наблюдение за процессом испарения стробоскопическое, смотровое окно
13 Электронно-лучевая пушка газоразрядная с холодным катодом
- мощность электронного луча, kW
- ускоряющее напряжение, kV
- частота развертки электронного луча, Hz, не более
- форма развертки
от 20
от 20
100
спиралевидная концетрическая
14 Система управления установки компьютерная
15 Программное обеспечение SEO ТЕСН Control
(Св-во регистрации авторского права № 27337)
SEO-EBPVD

Вакуумная установка серии SEO-ТЕС ArcPVD/MS ионно-плазменного напыления

Вакуумная установка серии SEO-TEC ArcPVD/MS предназначена для нанесения защитных и функциональных покрытий толщиной 0.5-50 мкм из многокомпонентных материалов , включая специальные сплавы или нанокристаллические композиты, а также металлические, оксидные, нитридные, карбидные, карбонитридные, оксикарбидные и др. типы покрытий с использованием дуальных магнетронных и дуговых испарителей.

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ УСТАНОВКИ: лаборатории вакуумного напыления исследовательских и производственных предприятий.

В состав установки входят:

  1. Технологическая стойка:
    • стойка питания;
    • распределительная система подачи воды;
    • вакуумная камера;
    • блок ионной очистки;
    • дуальные магнетроны;
    • дуальные дуговые испарители;
    • нагреватель;
    • карусель;
    • затвор дисковый;
    • турбомолекулярный насос;
    • пневматические клапана форлинии;
    • вакуумные датчики;
    • система напуска газов.
  2. Стойка системы управления
  3. Вакуумный откачной пост
  4. Пневмосистема
SEO-ARCPVD

Программа управления обеспечивает:

  • автоматический и ручной режим управления вакуумной системой;
  • отображение мнемосхемы вакуумной системы на экране монитора;
  • отображение показании датчиков на экране монитора;
  • отобтражение органов управления на экране монитора;
  • независимое управление токами испарителеи;
  • независимое управление Откр/Закр экранами испарителей;
  • независимое управление температурой нагревателя;
  • независимое изменение температуры (нагревателя)
  • программирование и воспроизведения режимов напыления;
  • блокирвку работы установки при аварийных ситуациях.
Техническая спецификация
1 Питающая сеть: 380V/50Hz трехфазная
2 Потребляемая установкой мощность, kVA, не более 25
3 Масса установки, kg, не более 648
4 Габаритные размеры:
(длина, ширина, высота), mm, не боолее

2000 × 2000 × 1800
5 Время достижения рабочего вакуума, min, не более
20
6 Системы распыления:
6.1 Магнетронная:
  • количество магнетронов
  • тип магнетрона
  • режим работы магнетронов
  • диаметр/толщина катода, mm

2 дуальных
сбалансированный/несбалансированный
DC/PULSE
95/8,5
6.2 Вакуумно-дуговая:
  • количество распылителей

2 дуальных
7 Ионный источник: многоячейковый (22 ионных пучка)
  • рабочая зона, mm
400
8 Системы электропитания:
8.1 Система электропитания магнетронов:
  • выходная мощность 1 канала, max, kW
  • выходное напряжение, V
  • выходной ток, A
  • режим работы
  • частота, kHz
  • амплитуда поджога, V

10
70 - 700
0,1 - 16
DC, PULSE
1 - 100
1000
8.2 Система электропитания дуговых испарителей:
  • выходной ток 1 канала, А
  • выходное напряжение, V
  • напряжение холосттого хода, V
  • регулировка
4 инверторных блока
90 - 150
90
100
по току
8.3 Блоки питания ионного источника:
  • максимальная выходная мощность, kW<
  • выходное напряжение, V
  • максимальный выходной ток, A

2
400 - 5000
1,5
9 Ситсема напуска газов 3 канала
  • подача газа в каналах
  • контролируеммый уровень натекания, Torr*l/s
  • максимальный пропускной поток, l/min
независимая
10
6
10 Карусельное устройство: планетарного типа
  • диаметр карусели, mm
  • скорость вращения вокруг центральной оси карусели, 1/min
  • количество механизмов крепления деталей, шт.
180
1 - 10
6
11 Блок питания потенциала смещения:
  • диапазон регулировки напряжения, V
  • максимальный ток, A
10 - 1000
7
12 Нагреватель: резистивный
  • максимальная температура нагрева, °C
560
13 Управляемые защитные экраны для:
магнетронных распылителей
дуговых распылителей
ионного источника
14 Управляющий компьютер: Моноблок Advantech с 17″ монитором
15 Программное обеспечение SEO ТЕСН Control
(Св-во регистрации авторского права № 27337)